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日本进口爱发科涡轮分子泵 utm-mi
产品型号: utm-mi
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: 特征 控制器与泵体集成在一起 泵体和控制器之间无需接线。 自由安装方向 自由安装方向使系统设计更加灵活。 适用于轻工业过程的宽范围和高流量。 泵旋转角度可在 25% 至 100% 之间调节, 通过改变旋转速度可以调节腔内的压力。 高耐久性、安全性 通过了空气冲入试验、接地试验等安全确认试验。 应用

日本进口爱发科涡轮分子泵 utm-mi

模型utm1200autm1600autm2300autm3400a
进气口威格士
150
iso
160f
维他命
200
威格士
250
iso
200f
iso
250f
威格士
250
iso
250f
维珍
300
威格士
350
iso
320f
出水口kf40
极限压力
*1
10 -7帕斯卡
抽气
速度
*2*3
氮气1030 升/秒1400 升/秒2100 升/秒3200 升/秒
应收账980 升/秒1330 升/秒2000 升/秒3100 升/秒
氢气660 升/秒750 升/秒1380 升/秒2100 升/秒
压缩

氮气2×10 8≧ 1×10 8≧ 1×10 9
7×10 35×10 31×10 5
氢气8×10 29×10 26×10 3
入口
压力*4
二十六 帕4.5帕七 帕
出口
压力*4
266 帕200帕270帕
旋转速度37200 分钟-133700 分钟-127600 分钟-1
速度变化转速在额定转速的25%~之间可调(设定为0.1%)
启动时间≦8分钟≦9分钟≦16分钟
安装
位置
朝任意方向
表面
处理*5
没有任何
沟通
接触d-sub 25针母头触点输入和输出信号d-sub 37针母头 触点输入和输出信号
串行串行连接器 rs232c/rs485d-sub 9 针公头 rs232c/rs485
控制器作品
带集成控制器的泵
输入

功率
单相ac200〜240v±10%(50/60hz±2hz)

功率
0.75千伏安1.2千伏安
冷却方式水冷
冷却
水*6
流速
3~4升/分钟
压力0.2~0.4mpa压力
噪音57 分贝(a)60 分贝(a)
重量43公斤41公斤56公斤94公斤
推荐
前级泵 *7
≧ 600升/分钟≧ 1500升/分钟
适用标准ce、tuv
标准配件o型圈(仅限vg)、防尘盖(出气口)、遥控器接口、使用说明书(cd-rom) 
选择
零件
交流电缆ac连接器/ac电缆(5m/10m/15m/20m)
固定专用
螺栓

m10/ m12

固定泵专用螺栓
需(m10) *8不需要*8
选项气体吹扫适配器(kf10)

*表示1位数字。
*2无保护网。
*3计算值:utm2300a和utm3400a 
*4入口压力和出口压力不能同时满足。
*5不要流动反应性气体和腐蚀性气体。使用其他气体时请与我们联系。
*6不凝结 
*7抽真空时30sccm 
*8螺栓等级,固定方法等受各种条件限制。请联系
  我们获取详细信息。


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