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日本进口涡轮分子泵 utmｰb系列 移动式 爱发科
产品型号：utmｰb
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
采用陶瓷球轴承的复合涡轮分子泵，具有优异的压缩比。采用集成控制器设计，结构紧凑。优异的高背压性能允许使用较小的前级泵。
特征
自由安装安装方向不受限制由于安装方向自由，因此
系统设计的自由度较高。
板载控制器
集成控制器能够减少线路工作并缩小泵送系统的尺寸。
高压缩比和高背压
高压缩比使得泵可以在高背压下运行并缩小其
前级泵的尺寸。
三种法兰
进气口法兰可从iso-k、icf、vg中选择。
清洁的真空环境
泵运行和停止时碳氢化合物气体的回流更少。
低噪音
无负载时噪音水平≤48db（配iso63-k法兰）
应用
分析设备、研发系统、实验装置等的主泵系统。
蒸发器、溅射系统等的主泵送系统。
主泵系统抽空 h2、he 等低分子气体
日本进口涡轮分子泵 utmｰb系列 移动式 爱发科
冷却方式自然
风冷强制
风冷自然
风冷强制
风冷法兰尺寸入口
*1vg65、icf114、iso063-kvg100、icf152、iso100-k出口kf16kf16抽气速度
（不带
防护网）氮气70 升/秒280 升/秒他60 升/秒270 升/秒氢气49 升/秒220 升/秒极限
压力
*2烘烤后- *310 -8帕斯卡- *310 -8帕斯卡烘烤前10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡压缩率氮气：
>1×10 9，氦气：4×10 7，氢气：4×10 5氮气：
>1×10 9，氦气：7×10 6 ，氢气：1×10 5
入口压力
*4, *5, *6氮气0.43帕斯卡1.1帕斯卡0.06帕斯卡0.7帕斯卡
出口压力
*4, *5, *7氮气300帕900帕100帕1000帕连续
运行
流量*8无需
气体吹扫氮气15标准立方厘米*940标准立方厘米*910标准立方厘米*10100标准立方厘米*10无需
气体吹扫应收账-10标准立方厘米*9-30标准立方厘米*10带
气体吹扫-15标准立方厘米*9-40标准立方厘米*10推荐使用前级泵
（抽真空 10sccm 时）
*11>60升/分钟>120升/分钟重量vg：3.3公斤, isf：3.0公斤, iso：5.0公斤6.0公斤 / 9.0公斤6.3公斤 / 9.3公斤旋转速度87000转60000转启动时间（80%）
(dc24v.背压5pa以下）1.7 分钟3.5 分钟表面处理*12没有任何安装方向自由方向噪音 *13<48分贝(声级)<50分贝(声级)控制器输入电源dc24v±5%, 120wdc24v±5%, 180w接点输入
输出信号远程（d-sub 15 针公头）
数字输入：4 点。输出：4 点。模拟输出：1 点。串行通信rs-485（d-sub 15 针公头，与 remote 共享）led显示屏电源、正常、报警转变开始/停止、重置可变旋转频率/速度运行转速数
可在
泵规格的 25% 至 之间以 0.1% 的步长进行更改。异常操作
检测检测报警、警告。保护电路表示报警、警告。标准配件使用说明书(cd-r)、防护网(仅vg和icf，
垫圈内置有iso法兰防护网)、
垫圈(入口法兰)、防尘盖(用于入口、出口和连接器)适用标准ce、tuvus
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