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日本ulvac涡轮分子泵 utm-ms系列 测雨仪 爱发科
产品型号：utm-ms
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
这是使用磁力轴承的带独立控制器的涡轮分子泵。我们拥有排气速度为 300 至 4000 l/s 的多种型号。控制器单元可监控运行状态并支持各种通信标准。
特征
泵体与控制器分离，
控制器可监控运行状态，支持多种通讯标准。
自由安装方向
自由安装方向使系统设计更加灵活。
抽速300l/s～4000l/s级产品阵容
泵旋转角度可在 25% 至 100% 之间调节，
通过改变旋转速度可以调节腔内的压力。
高耐久性、安全性
通过了空气冲入试验、接地试验等安全确认试验。
日本ulvac涡轮分子泵 utm-ms系列 测雨仪 爱发科
日本ulvac涡轮分子泵 utm-ms系列 测雨仪 爱发科
应用
主要设备真空抽气系统
- 半导体设备
- 蒸发器，溅射系统
- 分析设备，实验装置等。用于不产生副反应产物的轻工艺过程的主真空抽气系统。
一般用于高真空抽气系统。
规格
表格1
| 模型 | utm300a-ms | utm400a-ms | utm800a-ms | utm1000a-ms | ||||||
| 进气口 | vg100 / icf152 | vg150 / icf203 | vg200 / icf253 | |||||||
| 出水口 | kf25 | kf40 | ||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | 空气 冷却 | 水冷 | 空气 冷却 | 水冷 | 空气 冷却 | 水冷 | 空气 冷却 | ||
| 极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽气速度*2 | 氮气 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 应收账 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氢气 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 压缩率 | 氮气 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8× 104 | |||||||||
| 氢气 | 1× 104 | 4×10 3 | ||||||||
| 入口压力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 出口压力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 旋转速度 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟或更短 | |||||||||
| 安装位置 | 朝任意方向 | |||||||||
| 表面处理 | 镀镍 | |||||||||
| 冷却水 | 流速 | 升/分钟 | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー |
| 压力 | 压力 | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | |
| 噪音 | 分贝(声级) | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 三十二 | ||||||
| 推荐前级泵 | 200l/略多 | 500l/略多 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 分离型 | ||||||||
| 输入电功率 | 单相ac200〜240v±10％（50/60hz±2hz） | |||||||||
| 功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度变化 | 转速在额定转速的25%~之间可调（设定为0.1%） | |||||||||
| 沟通 | 接触 | |||||||||
| 串口：rs-232c / rs-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示位数。
*2：无防护网。
*3：入口压力和出口压力不能同时满足。
表 2
| 模型 | utm1300a-ms | utm1500a-ms | utm2400a-ms | utm3400a-ms | utm4300a-ms | ||
| 进气口 | vg200 / icf253 | vg250 | vg300 / vg350 | vg350 | |||
| 出水口 | kf40 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | |||||
| 抽气速度*2 | 氮气 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 应收账 | 升/秒 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| 氢气 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩率 | 氮气 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1× 104 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3× 104 | |||
| 氢气 | 1× 103 | 3×10 3 | 6×10 3 | 2× 103 | |||
| 入口压力*3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 出口压力*3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 旋转速度 | 转速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7分钟或更短 | 11分钟或更短 | 12分钟或更短 | 18分钟或更短 | |||
| 安装位置 | 朝任意方向 | ||||||
| 表面处理 | 镀镍 | ||||||
| 冷却水 | 流速 | 升/分钟 | 1～3 | 2～4 | |||
| 压力 | 压力 | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分贝(声级) | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 公斤 | 三十九 | 四十二 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐前级泵 | 600l/略多 | 1300l/略多 | 1500l/略多 | ||||
| 控制器 | 作品 | 分离型 | |||||
| 输入电功率 | 单相ac200〜240v±10％（50/60hz±2hz） | ||||||
| 功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度变化 | 转速在额定转速的25%~之间可调（设定为0.1%） | ||||||
| 沟通 | 接触 | ||||||
| 串口：rs-232c / rs-485 | |||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示位数。
*2：无防护网。
*3：入口压力和出口压力不能同时满足。
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