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日本ulvac进口低温泵 cryo-u系列 冷冻u30h 超真空冷冻机
产品型号：u30h
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
ulvac cryo已应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，并积累了良好的业绩记录。特征非常适合大型薄膜沉积设备、空间室等。、水的最大抽速。
日本ulvac进口低温泵 cryo-u系列 冷冻u30h 超真空冷冻机
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 28,000 |
| 氢 | 43,000 | ||
| 氩气 | 23,000 | ||
| 水 | 70,000 | ||
| 极限压力 | 帕（托） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流量 | 氩气 | pa·l/s(托·l/s) | 2.7×10 3 (20) |
| 氢 | 7.4×10 2 (5.6) | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·l(托·l) | 7.8×10 8 (5.9×10 6 ) |
| 氢 | 1.5×10 7 (1.1×10 5 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 小(赫兹) | 240/200(50/60) | |
| 进气法兰 | vg-750 | ||
| 压缩机组 | c30vrt×2 | ||
| 大量的 | 公斤 | 175.0 | |
*维护间隔：16,000小时
u22h和u30h根据外汇和对外贸易管理法被归类为战略物品和其他出口管制产品。
将产品带出日本时，请办理向日本政府申请出口许可等必要手续。
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