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日本进口ulvac爱发科低温泵 cryo-u 系列 cryo-u22wb
产品型号： cryo-u
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
cryo-u系列是使用2级gm制冷机的低温泵，可进行高真空排气。
根据fpd、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。
日本进口ulvac爱发科低温泵 cryo-u 系列 cryo-u22wb
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 13,000 |
| 氢 | 16,500 | ||
| 氩气 | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 极限压力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流量 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 3.5×10 3（26） |
| 氢 | 1.3×10 3 (9.6) | ||
| 泵送能力 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 8.1×10 8 (6.1×10 6 ) |
| 氢 | 8.5×10 6 (6.4×10 4 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 小值(hz) | 165/150（50/60） | |
| 安装法兰 | uvg-550 | ||
| 压缩机组 | ×1 | ||
| 重量 | 公斤 | 125.0 | |
*保养间隔：16,000小时
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