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日本低温泵 cryo-u 系列 cryo-u20p
产品型号：cryo-u20p
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
cryo-u系列是使用2级gm制冷机的低温泵，可进行高真空排气。
根据fpd、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。
特征
适用于大型沉积系统和其他生产设备。
适用于批量型大型沉积系统。
日本低温泵 cryo-u 系列 cryo-u20p
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 10,000 |
| 氢 | 18,000 | ||
| 氩气 | 8,400 | ||
| 水 | 29,000 | ||
| 极限压力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流速 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 1.1×10 3 (8.7) |
| 氢 | 5.0×10 2 (3.7) | ||
| 泵送能力 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 5.8×10 8 (4.4×10 6 ) |
| 氢 | 4.6×106 （ 3.4× 104） | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 小值(hz) | 180/160(50/60) | |
| 安装法兰 | uvg-500 | ||
| 压缩机组 | c30vrt | ||
| 重量 | 公斤 | 69.0 | |
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