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日本ulvac进口低温泵爱发科cryo-u16p
产品型号:cryo-u16p
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: cryo-u系列是使用2级gm制冷机的低温泵,可进行高真空排​​气。 根据fpd、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征适用于中、大型设备。cryo-u16 的高负载版本。

日本ulvac进口低温泵爱发科cryo-u16p

抽速(20℃)升/秒5,000
10,000
氩气4,200
16,000
极限压力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氩气帕・升/秒(托・升/秒)1.6×10 3(12)
4.5×102  3.4)
泵送能力氩气帕・升(托・升)4.3×10 8 (3.3×10 6 )
2.4×106  1.8× 104
冷却时间
(电源循环)
小值(hz)120/110(50/60)
安装法兰uvg-400
压缩机组c30vrt
重量公斤61.0


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