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日本低温泵 cryo-u 系列 cryo-u12hsp 爱发科
产品型号：cryo-u12hsp
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
cryo-u系列是使用2级gm制冷机的低温泵，可进行高真空排气。
根据fpd、半导体、电子设备、光学、研发等用途，有从小型到大型的多种产品可供选择。
特征
氩气的抽真空能力约为标准型号（u12h）的两倍。
氢气排气量约为标准型号（u12h）的1.5倍。
播放间隔变得更长，有助于提高设备的可用性。
日本低温泵 cryo-u 系列 cryo-u12hsp 爱发科
| 抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 4,100 |
| 氢 | 6,000 | ||
| 氩气 | 3,400 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 极限压力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 流速 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 2.0×10 3 (15.0) |
| 氢 | 4.1×102 （ 3.1） | ||
| 泵送能力 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 4.4×10 8 (3.3×10 6 ) |
| 氢 | 1.6×10 6 (1.2×10 4 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 小值(hz) | 90/80(50/60) | |
| 安装法兰 | uvg-300,10 b美国标准 | ||
| 压缩机组 | c30vrt | ||
| 重量 | 公斤 | 四十二 | |
*维护间隔：16,000小时
可移动底座为选配
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