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ulvac日本低温泵 cryo-u 系列 低温u8h-u
抽速(20°) | 氮 | 升/秒 | 1,700 |
氢 | 2,700 | ||
氩气 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
极限压力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
吞吐量 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 1.2×10 3 (8.9) |
氢 | 2.4×10 2 (1.8) | ||
泵送能力 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 1.0×10 8(7.6×10 5) |
氢 | 1.0×10 6 (7.6×10 3 ) | ||
冷却时间 | 小值(hz) | 100/90(50/60) | |
安装法兰 | uvg-200,6 b ansi,ufc-253 | ||
压缩机组 | c10t,c10at | ||
低温泵重量 | 公斤 | 20.8 |
*维护间隔:每16,000小时
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