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日本进口低温泵 cryo-u 系列 cryo-u6h 爱发科
抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 750 |
氢 | 1,100 | ||
氩气 | 620 | ||
水 | 2,100 | ||
极限压力 | 帕(托) | 10 -7 (10 -9 ) | |
流速 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 1.1×10 3 (7.9) |
氢 | 1.1×10 2 (0.8) | ||
泵送能力 | 氩气 | 帕・升(托・升) | 5.6×10 7(4.2×10 5) |
氢 | 3.1×10 5 (2.3×10 3 ) | ||
冷却时间(电源循环) | 小值(hz) | 80/70(50/60) | |
安装法兰 | uvg-150,ufc-203 | ||
压缩机组 | c10t,c10at | ||
重量 | 公斤 | 19 |
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