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日本螺杆式干式真空泵 ms系列 多发性硬化症ms120a
产品型号:ms120a
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: ms系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵,在传统ls 系列的基础上改进了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。 特征 对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理,具有较高的耐腐蚀性。 ulvac 独特的螺杆式转子轴设计实现了高粉末排出性能。 可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。 目的 电子零件、半导体制造设备用真空排气系统 蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等 真空热处理炉、真空抽气系统 烧结炉、渗碳炉等。 锂电池制造设备真空排气系统 电极干燥设备、消泡设备、注液设备等 医疗及食品相关设备真空排气冷冻干燥设备 、真空干燥设备等。 *ms1200a 可单独购买,并添加控制板和传感器。请联系凯发k8国际首页登录。

日本螺杆式干式真空泵 ms系列 多发性硬化症ms120a

模型 ms120ams600ams1200a
抽速*1立方米/小时115第560章980
极限压力≤0.6≤0.1
电源电压三相,50/60hz,ac200-240v±10%或三相,50/60hz,ac380-480v±10%
大约功耗*2千瓦2.43.13.1
冷却水量升/分钟>4.0
吹扫气体量*1可持续发展管理0~50
水蒸气处理量
*1*3
公斤/小时1.5
噪音值*2分贝(a)616264
进气口kf50(卧式)/vg50(立式)iso-f-80iso-f-100
排气口kf40
质量*4公斤139第241章264
兼容标准ce、ctuvus
标准配件快速说明书、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器护罩、专用消音器1套
车身选项电源电压:200v级或400v级
密封材料:氟橡胶(fkm)或全氟橡胶(ffkm)
外部选项底盘排气口、防震夹具、lr兼容单元(进气口、信号)、吹扫气阀

*1:典型值
*2:极限压力
*3:使用吹扫气体时的水蒸气处理量。
*4: 包括消音器


排气速度曲线

  • ms120a

  • ms600a

  • ms1200a



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