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进口ulvac爱发科螺杆式干式真空泵ms600a
产品型号：ms600a
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
半导体和电子设备制造设备的真空系统，用于蚀刻、灰化、等离子清洗等。烧结、渗碳等炉的真空系统。锂离子电池制造设备的真空系统电极干燥、脱气、真空注射等。医疗和食品用真空系统冷冻干燥、真空干燥等。
进口ulvac爱发科螺杆式干式真空泵ms600a
| 型 | ms120a | ms600a | ms1200a | |
| 抽气速度*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源 | 200v级：3相, 50/60hz, ac200-240v±10% 或 400v级：3相, 50/60hz, ac380-480v±10% | |||
| 功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体流量*1 | 空间光调制器 | 0~50 | ||
| 耐水蒸气性*1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音 *2 | 分贝(声级) | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | kf50(卧式) / vg50(立式) | iso-f-80 | iso-f-100 | |
| 出水口 | kf40 | |||
| 重量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 适用标准 | ce、ctuvus | |||
| 标准附件 | 快速手册、电源连接器、防水电缆夹、遥控连接器、电源连接器防护罩、消音器 | |||
| 泵头选项 | 电源：200v级或400v级 密封材质：fkm或ffkm | |||
| 外部选项 | 包装排气口、防震支架、lr 兼容单元（入口、远程）、吹扫气阀 | |||
*1：参考值
*2：极限压力（仅供参考）
*3：水蒸气耐受量为使用吹扫气体时的值。
*4：包括消音器
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